(1) 溫度的影響：
對結構尺寸影響：使部分零件幾何尺寸發生變化，產生附加電容。故在制造時，一般選用溫度系數小、幾何尺寸穩定的材料。
對介電常數的影響。
(2) 漏電阻的影響：
一般的絕緣電阻將被看作是對電容式傳感器的一個旁路，被稱為漏電阻，與傳感器容抗接近時，將是系統總的靈敏度下降。因此應選取絕緣性能好的材料做兩極板間支架。采用高的激勵電源頻率。
(3) 邊緣效應：
極板的邊緣附近電場分布不均勻，從而使電容的計算十分復雜，產生誤差。因此，首先應增大電容器的初始電容量，此外，還可以裝等位環。
(4) 寄生參數的影響：
可以縮短傳感器到測量線路前置級的距離，或用驅動電纜法和整體屏蔽法